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真空闸阀

什么是真空漏率?

所谓真空漏率是指相对负压封闭空间进入气体的速率。真空闸阀在出厂前需要对漏率进行检测,查看漏气率是否符合要求。

通常漏气可分为实漏和虚漏。

实漏:气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。

虚漏:相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能,它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。

而真空技术中所指的漏孔,由于尺寸微小、形状复杂、形式多样,无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。

特殊真空闸阀

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