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Gamma Vacuum 钛升华泵 (TSP)

Gamma Vacuum钛升华泵钛升华泵 (TSP),钛升华泵通常与离子泵组合使用或单独使用,可去除真空环境中的反应气体。与离子泵组合后,TSP 可在更短的时间内达到高极限真空。所有 TSP 部件均可加热至 400 °C。TSP 的工作原理是加热钛丝并将钛分子升华(从固相转化为···

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Gamma Vacuum 钛升华泵 (TSP),钛升华泵通常与离子泵组合使用或单独使用,可去除真空环境中的反应气体。与离子泵组合后,TSP 可在更短的时间内达到高极限真空。所有 TSP 部件均可加热至 400 °C。

TSP 的工作原理是加热钛丝并将钛分子升华(从固相转化为气相)到某个表面上。升华后的钛分子可以与反应气体(例如氧气和氮气)发生化学反应,同时扩散方式来吸附游离氢气。TSP 可在 10-5 至 10-12 mbar的范围内工作,氢气抽速超过10,000 ls-1

产品特点:

*  TSP 灯丝支架:灯丝支架安装在 2- 3/4 英寸 CFF (DN40) 上。真空电极支持三个钛钼灯丝,以及一条用于接地隔离的回路。每个灯丝均包含 1.5 克的可用钛,平均工作时间为 20 小时。

*  液氮低温护罩:液体低温屏蔽罩包含一个双层 304L 型不锈钢夹套,该夹套带有两个直径为 0.375 英寸的液氮穿通件(配备外凸式液氮接口)。它可提供 1578cm2 (245 平方英寸)的液氮冷却表面积,氢气抽度高达 12,000 ls-1 (见表格)。该护套安装在一个8 英寸的 CFF (DN160) 上。

*  常温溅射护罩:当冷却不切实际或不可行时,常温溅射护罩能够以经济的方式将表面积Z大化。它可提供827 cm2 (128 平方英寸) 的常温表面积,氢气抽取速度高达 2200 ls-1 (见表格)。该护罩安装在一个 8 英寸的 CFF (DN160) 或 6 英寸的 CFF (DN100) 上。

Gamma Vacuum 钛升华泵 (TSP)

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