Edwards爱德华VIV电磁隔离阀

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Edwards爱德华VIV电磁隔离阀是一种高流导（11–126 l/s）、快速动作（<0.1 s）的高真空隔离阀。它可用于防止蒸汽或颗粒从前级泵反流回工艺腔体，并且在电源故障时，能够防止工艺腔体破空。单向交流电压和24 V直流电压可供选择，适用于大多数应用。

可推荐使用VIV阀的前级泵有nXDS、XDS、nXLi和nXRi等干式前级泵。当VIV阀关闭时，前级泵能够an全破空。当前级泵停止或被停止时，VIV阀能够保护工艺腔体不被破空。当前级泵重新启动时，当VIV阀内的压力下降（<200 mbar）时，阀门将缓慢（<15 s）打开，从而将任何压力突然变化的影响降至低。

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