真空电极（Feedthrough）法兰连接步骤

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真空电极（Feedthrough）法兰连接通常包括以下步骤：

准备工作：准备好法兰、密封垫、螺栓、螺母等零件，清洁电极和法兰上的杂物和污垢，确保表面光洁无划痕。

安装密封垫：在电极上放置一个合适大小的密封垫，确保其完全覆盖法兰连接面。一般采用O形圈或者金属层叠垫。

安装法兰：将法兰轻轻放置在电极上，并将螺栓穿过法兰孔洞，螺母轻轻拧上。

调整法兰位置：调整法兰的位置，使其与电极上的法兰孔洞对齐。

逐步拧紧螺栓：从一个螺栓开始，逐步拧紧螺栓和螺母，直到所有螺栓都已紧固。在拧紧螺栓和螺母时，需要根据法兰材料和密封垫的硬度适当调整拧紧力度，以确保法兰与电极之间的密封性能。

泄漏测试：在安装完成后，需要进行泄漏测试来验证法兰与电极之间的密封性能。通常采用质谱仪或氦检漏仪来检测泄漏。如果发现泄漏，需要重新检查并调整法兰连接。

高密度型Sub-D真空馈通

需要注意的是，法兰连接的质量和密封性能对整个真空系统的性能和可靠性都有重要影响。因此，在安装和使用真空电极时，需要严格遵守操作规程和要求，并进行定期的维护和检查。

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