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不锈钢材料因具有优异的耐腐蚀性、高机械强度和良好的焊接性能等特点,使其腔体在半导体制造、实验室研究、航天科技以及各类精密加工和分析仪器等领域中得到广泛应用。
本文介绍采用钛合金制造CF法兰、铝合金制造法兰颈部的方案。钛合金法兰满足硬度要求的同时,铝合金颈部便于与铝合金腔体进行焊接。
本文介绍的另一种解决方案是采用铝合金与不锈钢的复合合金板制造法兰。
前述两种解决方案均采用CF法兰,可应用于超高真空系统中。然而在半导体制造及相关设备领域,高真空环境已经能够满足使用需求。