真空微漏阀的作用是什么

真空微漏阀是一种用于控制和调节真空系统压力的装置。它的主要作用是允许气体从真空系统中流出，以便维持系统的稳定压力。当真空系统中的压力超过微漏阀设定的压力时，微漏阀会打开，使气体流出系统。当系统压力下降到微漏阀设定的压力以下时，微漏阀会关闭，以保持系统压力稳定。

真空微漏阀通常由一个阀体和一个阀芯组成。阀芯通过一个弹簧与阀体相连，当系统压力超过设定值时，阀芯被压缩并打开阀门。当系统压力降低到设定值以下时，弹簧推动阀芯关闭阀门。

真空微漏阀广泛应用于半导体、光学和实验室设备等领域的真空系统中。它们通常被用来控制和调节真空系统的压力，以确保系统的稳定性和可靠性。

VACGEN 微漏阀 ZLVM940R

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