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问:真空传输阀可允许漏率是多少?
答:与之前介绍的闸阀可允许漏率不同,真空传输阀的可允许漏率分别为 Stain Less : < 1×10-9 mbar ℓ/sec 与 Aluminum : < 1×10-5 mbar ℓ/sec。
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