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真空闸阀
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问:超高真空闸阀允许漏率是多少?
答:漏率过大对真空系统的影响较大,通常真空闸阀对漏率都有所要求,其中超高真空闸阀的允许漏率为< 1×10-10 mbar ℓ/sec。
超高真空闸阀
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