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Agilent安捷伦 涡轮分子泵 TwisTorr Turbo-V 2K-G

Agilent安捷伦Turbo-V 2K-G 高通量涡轮分子泵是一款专用真空泵系统,抽速可达 1600L/s。Turbo-V 2K-G 专为工业应用而设计,尤其可用作薄膜沉积设备的涡轮分子泵。

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产品详情

Agilent安捷伦Turbo-V 2K-G 高通量涡轮分子泵是一款专用真空泵系统,抽速可达 1600L/s。Turbo-V 2K-G 专为工业应用而设计,尤其可用作薄膜沉积设备的涡轮分子泵。其叶片级数和整个泵结构均经过优化,能够在高温负载和很高氩气流下工作。

Turbo-V 2K-G涡轮分子泵设计坚固,适用于恶劣的制造环境。典型的工业真空镀膜应用,包括太阳能板和平板显示器制造。Turbo-V 2K-G 的可靠设计和先进的电子集成解决方案,使其成为真空镀膜行业的分子泵解决方案。


产品参数

 

N2 压缩比

3 x 105

前级管道法兰尺寸

KF 40 NW

前级耐压 — N2

3 mbar

启动时间

< 7 min

工作位置

任意

建议采用的前级泵容量

40 m³/h

抽速 — Ar

1400 L/s

抽速 — N2

1600 L/s

操作环境温度

+5 to +40 °C

极限真空

<1 x 10-8 mbar

标准和认证

EN 55011(无线电干扰特性)

EN 61000-3-2(谐波电流发射限值)

EN 61000-3-3(电压变化、电压波动和闪烁的限制)

EN 61000-6-2 和 EN 61326(工业环境的抗扰度)检查:

EN 61000-4-2(静电放电现象)

EN 61000-4-3(高频辐射现象)

EN 61000-4-4、EN 61000-4-5 和 EN61000-4-6(高频导电现象)

EN 61000-4-11(电压波动、电压暂降和短时中断)

法兰类型

DN 250    ISO-F

贮存环境温度

-20 至 +70 °C

重量

35 kg

额定转速

33000 rpm(驱动频率 550 Hz)


产品特点


·专为薄膜沉积应用而设计的分子泵解决方案。

·经优化适用于很高的氩气流量。

·集成式泵和控制器可安装在任何位置,操作简单,占地面积小。

·支持高气体流速,能够使用 DN 250 实现高通量应用。

·耐用设计、冷却系统可实现连续运行。

·气体吹扫可保护泵轴承,在存在系统污染物和微粒的情况下可实现无缝运行。

·低噪音,不会对系统产生任何影响。

·免维护轴承,运行成本低。

·通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制,以便随时随地进行泵操作并可选配 Profibus。

·通用电子接口,包括模拟 I/O 信号和 RS232/RS485,用于通过 A-Plus 软件实现远程控制。


 产品选型


9698871

Turbo-V 2K-G 涡轮分子泵和控制器

MoniTorr 卡,DN 250 ISO-F

9698873

Turbo-V 2K-G 涡轮分子泵和控制器

MoniTorr 卡,DN 250 ISO-F,Profibus

 

以上就是北京麦迪森科技有限公司为您介绍的Agilent安捷伦 涡轮分子泵TwisTorr Turbo-V 2K-G ,如果想要了解更多产品信息请咨询15301310116(微信同号)

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