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真空泵/干泵/油泵/扩散泵

Agilent安捷伦 涡轮分子泵 TwisTorr Turbo-V 1K-G

Agilent安捷伦高通量Turbo-V 1K-G 涡轮分子泵是一种专用真空泵系统,抽速可达 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 专为工业应用而设计,尤其可用作薄膜沉积设备的涡轮分子泵。

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产品详情

Agilent安捷伦高通量Turbo-V 1K-G 涡轮分子泵是一种专用真空泵系统,抽速可达 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 专为工业应用而设计,尤其可用作薄膜沉积设备的涡轮分子泵。其叶片级数和整个泵结构均经过优化,能够在高温负载和很高氩气流下工作

典型的工业真空镀膜应用,包括太阳能板和平板显示器制造。Turbo-V 1K-G 的可靠设计和先进的电子设备、机架式或一体式解决方案,使其成为真空镀膜行业的分子泵解决方案。 

 

产品参数

 

H2 压缩比

1.5 x 104

He 压缩比

>4 x 104

N2 压缩比

>5 x 107

前级管道法兰尺寸

KF 25 NW   KF 40 NW

前级耐压 — N2

3 mbar

启动时间

< 5 min

工作位置

任意

建议采用的前级泵容量

20 m³/h

抽速 — Ar

1040 L/s (ISO 200) L/s

抽速 — H2

730 L/s (ISO 200) L/s

抽速 — He

1150 L/s (ISO 200) L/s

抽速 — N2

1080 L/s (ISO 200) L/s

振动水平

在抽气口法兰处为 0.01 μm

操作环境温度

+5 to +35 °C

极限真空

<1 x 10-10 mbar

标准和认证

UNI EN 292-1

UNI EN 292-2

EN 55011 A

EN 61000-4-2

EN 61000-4-3

EN 61000-4-4

EN 61000-4-5

EN 61010-1

EN 1012-2

法兰类型

DN 160 ISO-F      DN 200 ISO-F

贮存环境温度

-20 至 +70 °C

重量

26.8 kg

额定转速

45660 rpm(驱动频率 761 Hz

 

产品特点


·专为薄膜沉积应用而设计的分子泵解决方案。

·经优化适用于很高的氩气流量。

·支持高气体流速,能够使用 DN 160 或 200 实现高通量应用。

·耐用设计、冷却系统可实现连续运行。

·气体吹扫可保护泵轴承,在存在系统污染物和微粒的情况下可实现无缝运行。

·低噪音,不会对系统产生任何影响。

·体积小巧,可安装在任何位置,有利于轻松集成。

·免维护轴承,运行成本低。

·通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制,以便随时随地进行泵的操作。

·通用电子接口。


产品选型


8698961R002

Turbo-V 1K-G 

DN 160 ISO-F 抽气口法兰,KF25 前级管道法兰

8698962R001

Turbo-V 1K-G 

DN 200 ISO-F 抽气口法兰,KF40 前级管道法兰

8698962R004

Turbo-V 1K-G 

DN 200 CF-F10 英寸 CFF)抽气口法兰


以上就是北京麦迪森科技有限公司为您介绍的安捷伦Agilent 涡轮分子泵TwisTorr Turbo-V 1K-G,如果想要了解更多产品信息请咨询15301310116(微信同号)

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